Фpaнция – Микроелектронни машини и уреди – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

За своите дейности по изследване, насочени към развитието на технологиите FD-SOI 10 nm и по-нататък, CEA-LETI иска да придобие оборудване 300mm за механохимично полиране. Оборудването трябва да може да полира метални филми като мед или вълфрам, както и бариерни материали като тантал или титан. Оборудването също трябва да може да полира прозрачни плочи. То трябва да бъде оборудвано с 4 платена и 2 чистача, за да може да обработва 2 процеса паралелно. То трябва да бъде оборудвано с полиращи глави и системи за крайна точка от последно поколение, които позволяват автоматичното регулиране на профила на полирането. Инструментът след това трябва да интегрира модул за in-situ метрология. Настоящият договор включва следната задължителна опция: - Опция № 1: Продължение на гаранцията с още една година. Настоящият договор включва следните факултативни опции: - Опция № 2: Доставка на сензор за остатъци (§3.1 от спецификацията), - Опция № 3: Доставка на термообменник/охладител (§3.2.6 от спецификацията), - Опция № 4: Доставка на електрически трансформатор (§4.1.3 от спецификацията), - Опция № 5: Обучение за първо ниво на поддръжка (§9 от спецификацията), - Опция № 6: Обучение за напреднало поддръжка (§9 от спецификацията), - Опция № 7: Цената на транспорта, включително застраховка, според условия DAP CEA Grenoble (Конвенция Incoterms ICC 2020).