Гepмaния – Различни видове машини с общо и специално предназначение – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Модулен, напълно автоматизиран пробир за оптично инспектиране и електрически контакт на електронни, фотонни и микро-механични устройства, включително напреднали подходи за производство като квази-монолитна интеграция. Системата обрабочва вафери с 200 мм, както и рамки, ленти, поддони и сравними субстрати. Край-край система за обработка на носители зарежда носители с монтирани субстрати от специализирани касети, ги позиционира върху вакуумната захватка на пробира и извършва напълно автоматизирано изравняване. Обеспечен е интерфейс тесткарта/пробирна карта за електрическо свързване. Пробирането и фино позициониране се извършват автоматично, за да се гарантира възпроизводими условия за контакт. Програмното осигуряване поддържа програмируемо управление на последователност и изравняване, базирано на референтни точки. За оптично инспектиране системата предлага подвижен механичен интерфейс, за да приеме модулни, доставени от клиента оптични модули за инспекция (например, микроскоп с камера) с латерално и вертикално регулиране. Пространството над пробира