Фpaнция – Електронни, електромеханични и електротехнически принадлежности – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

За своите дейности по изследване, насочени към развитието на технологиите FD-SOI 10 nm и по-нататък, CEA-LETI иска да придобие оборудване 300 mm за метално наслагване по PVD. Оборудването ще бъде многокамерно и трябва да включва поне 5 камери за наслагване, платформа за прехвърляне под вакуум, камера за окисление, камера за предварително почистване и модул за дегазиране. Приточния порт трябва да позволява приемане на поне 3 FOUPs. Предвиденият пазар включва следните опции: - Обязателна опция: OPT1: Удължаване на гаранцията с още 1 година (§11.1 от спецификациите) - Факултативни опции: OPT2: Топлообменници/Хладилници (§3.2.6 от спецификациите) OPT3: Електрически трансформатор (§4.1.4 от спецификациите) OPT4: Обучение по първостепенно поддържане (§9 от спецификациите) OPT5: Обучение по напреднало поддържане (§9 от спецификациите)