Фpaнция – Микроелектронни машини и уреди – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

В рамките на своите дейности по изследване, насочени към развитието на технологии SOI с изчерпване на 10 nm и по-нататък, CEA-LETI иска да придобие автоматично оборудване за атомно слоево наслагване (ALD). Това оборудване трябва да обработва предимно плаки с диаметър 300 mm (или 200 mm с помощта на поддръжки 200-300 mm). То е предназначено за наслагване на метали и метални нитриди за неволатилни паметни устройства и напреднали контакти. Оборудването трябва също да включва решение за почистване, за да се подобри качеството на повърхността преди наслагването на метали и метални нитриди. Договорът включва и следната опция с задължителен преценяване* : - Опция 1 – Обучение по поддръжка Ниво 1 (Глава 9) Договорът включва и следните опции с факултативно преценяване* : - Опция 2 – Топлообменници (Heat exchangers) и системи за охлаждане (chillers) (Раздел 3.2.6) - Опция 3 – Електрически трансформатор (Power supply transformer) (Раздел 4.1.4) - Опция 4 – Обучение по напреднала поддръжка (Глава 9) - Опция 5 – Превантивни, корективни услуги по поддръжка и необходимите запасни части (Раздел 12.2) - Опция 6 – Продължение на гаранцията с още една година - Цената за транспортиране, включително застраховка, според условия DAP CEA Grenoble (Конвенция Incoterms ICC 2020)