Гepмaния – Лабораторно, оптично и прецизно оборудване (без стъклени изделия) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum планира да закупи DRIE етъчна инсталация, която да се използва в изследователската лаборатория по микроелектроника в Бохум за субстрати от вафер с диаметър до 200 mm. Тя трябва да се използва в областта на силициевите микро- и електромеханични системи (MEMS) за дълбокото анизотропно силициево етиране на базата на цикличен етъчен процес (DRIE, "Бош процес") и да служи за изследване на нови етъчни концепции, които използват по-малко климатоопасни етъчни газове.