Прескочи към съдържанието
Връщане към търсене

Гepмaния – Лабораторно, оптично и прецизно оборудване (без стъклени изделия) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität BochumГерманияПубликувано на 12.08.2026 г.
Няма даден крайен срок

Описание

Ruhr-Universität Bochum планира да закупи DRIE етъчна инсталация, която да се използва в изследователската лаборатория по микроелектроника в Бохум за субстрати от вафер с диаметър до 200 mm. Тя трябва да се използва в областта на силициевите микро- и електромеханични системи (MEMS) за дълбокото анизотропно силициево етиране на базата на цикличен етъчен процес (DRIE, "Бош процес") и да служи за изследване на нови етъчни концепции, които използват по-малко климатоопасни етъчни газове.

Кодове CPV

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Документи и подаване

AI резюме
Влезте, за да получите AI резюме

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Свързани поръчки