Фpaнция – Микроелектронни машини и уреди – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

За своите дейности по изследване, които имат за цел развиването на технологиите FDSOI 10nm и по-нататък, CEA-Leti иска да придобие оборудване, предназначено за метален напълвател на вии с ниска температура, за приложения в паметта, за чистата му стая. Оборудването ще бъде способно да използва вафери с 300mm и е предназначено за депониране на тънък слой от вълфрам с висока съответност в вии с високо отношение на форма. Предвиденият пазар включва една опция с задължителен преценка и четири опции с факултативен преценка:

- Опция с задължителен преценка: Опция 3 (факултативна услуга): Обучение по поддръжка на ниво 1

- Опции с факултативен преценка:

- Опция 1 (факултативна доставка): Термообменници/охладители

- Опция 2 (факултативна доставка): Трансформатор за електрическо захранване

- Опция 4 (факултативна услуга): Обучение по напредна поддръжка

- Опция 5 (факултативна услуга): Продължение на гаранцията с една година