Фpaнция – Микроелектронни машини и уреди – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

За нуждите на изследванията си, CEA-LETI иска да придобие оборудване, полуавтоматичен химически стол за гравиране и почистване на материали III-V върху силициеви, фосфидни индиеви (InP) или арсенидни галови (GaAs) плочи с диаметри 100, 150, 200 и 300 mm за микроелектрониката. Този стол замества вече съществуващ стол в чистата стая на LETI. Следователно, предложеното оборудване трябва да отговаря на следните размерни изисквания: o Дължина = 2500 mm o Дълбочина = 1700 mm o Височина = 2100 mm. Договорът включва и следните опции с факултативно ценообразуване*: o Опция 1: Температурни обменници и охладители (§3.2.6); o Опция 2: Преобразуватели на захранването (§4.1.4); o Опция 3: Обучение по първостепенното поддържане (§9); o Опция 4: Обучение по напреднатото поддържане (§9); o Опция 5: Удължаване на гаранцията с още една година (§11.1); o Опция 6: Предоставяне на сух контакт, който показва отварянето на клапата на дреновата система H2SO4 или H2SO5 (§4.2.3); o Цената на транспорта, включително застраховка, според условия DAP CEA Grenoble (Конвенция Incoterms ICC 2020).