Гepмaния – Различни машини със специална употреба – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Предметът на закупуването е модернизация на съществуваща система за химично отлагане на паре (CVD) с диаметър 200 мм на производителя Applied Materials Inc. (AMAT) до конфигурация WxZ Sprint. За това са необходими особено приспособления на газораспределителната система за реализация на импулсен процес на отлагане на вълфрам, както и интеграция на допълнително оборудване, за да се позволят налягане при отлагане до 300 Torr. Услугите включват планиране, доставка, интеграция, пускане в експлоатация и квалификация на необходимите хардуерни и софтуерни приспособления на съществуващата инсталация.