Švédsko – Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab zakoupuje Elektronový litografický nástroj. Přístroj je určen pro vysokorozlišení, opakovatelné vylitování, vybavený velkým psacím polem pro vysoký průtok vylitování a automatizovanými samokalibračními rutinami pro podporu dlouhých expozic s minimálními chybami způsobenými posunem paprsku. Nakonec musí být jeho flexibilní systém nakládání s vzorky nakonfigurován pro širokou škálu vzorků od malých kusů používaných pro základní vědu, nebo desků až do 8" v průměru pro pilotní testování výroby. S těmito vlastnostmi se Elektronový litografický nástroj stane centrální součástí infrastruktury výroby Lund Nano Lab a podporuje řadu aplikací, jako jsou kvantové zařízení, vysokomocná elektronika, metasurfaces a další. Kromě přístroje musí výzva zahrnovat všechny související náklady, jako je záruka, balení, pojištění, montáž na místě, komise, FAT, SAT, clo a doprava, školení, dokumentace, podpora, vývoj/aktualizace software, poplatky podle nařízení o výrobcově odpovědnosti za balení (2022:1274) atd.