Francie – Mikroelektronické stroje – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Pro své výzkumné činnosti zaměřené na vývoj technologií FD-SOI 10 nm a dále, chce CEA-LETI získat zařízení pro mechanicko-chemické bruslení 300mm. Zařízení musí být schopno bruslit kovové vrstvy, jako je měď nebo wolfram, stejně jako bariérové materiály, jako je tantal nebo titan. Zařízení musí být také schopné bruslit průhledné desky. Musí být vybaveno 4 plošinami a 2 čističi, aby mohlo zpracovávat 2 procesy paralelně. Musí být vybaveno brusnými hlavami a systémy pro koncové body poslední generace, které umožňují automatické nastavení brusného profilu. Nástroj musí následně integrovat modul in-situ metrologie. Tento kontrakt obsahuje následující povinnou opci: - Opce č. 1: Prolongace záruky o další rok. Tento kontrakt obsahuje následující volitelné opce: - Opce č. 2: Dodávka detektoru zbytků (§3.1 zadávací dokumentace), - Opce č. 3: Dodávka výměnníku tepla/chladiče (§3.2.6 zadávací dokumentace), - Opce č. 4: Dodávka elektrického transformátoru (§4.1.3 zadávací dokumentace), - Opce č. 5: Výcvik 1. úrovně údržby (§9 zadávací dokumentace), - Opce č. 6: Pokročilý výcvik údržby (§9 zadávací dokumentace), - Opce č. 7: Cena dopravy, včetně pojištění, podle podmínek DAP CEA Grenoble (Dohoda Incoterms ICC 2020).