Německo – Různá strojní zařízení pro všeobecné účely a speciální strojní zařízení – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Modulární, plně automatizovaný prober pro optické zkoumání a elektrický kontakt elektronických, fotonických a mikro-mechanických zařízení — včetně pokročilých výrobních přístupů, jako je quasi-monolitická integrace. Systém zpracovává 200 mm wafers i rámce, pásky, podnosy a podobné substráty. Konečná systém pro manipulaci s nosiči nabírá nosiče s montovanými substráty ze specializovaných kaseť, umístí je na vakuovou chuck proberu a provede plně automatické zarovnání. Pro elektrické připojení je poskytován rozhraní testcard/probe-card. Detekce sondy a jemné pozicování se provádí automaticky, aby se zajistily reprodukovatelné podmínky kontaktu. Ovládací software podporuje programovatelné sekvenční řízení a zarovnání na základě referenčních bodů. Pro optické zkoumání systém nabízí pohyblivé mechanické rozhraní pro přijetí modulárních, zákaznickými dodaných optických modulů pro zkoumání (například mikroskop s kamerou) s laterální a vertikální úpravou. Prostor nad p