Francie – Mikroelektronické stroje – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

V rámci svých výzkumných aktivit směřujících k vývoji technologií SOI s plným vyčerpáním 10 nm a dále, chce CEA-LETI zakoupit plně automatizovaný aparát pro atomární vrstvení (ALD). Tento aparát bude hlavně zpracovávat desky o průměru 300 mm (nebo 200 mm s použitím podpěr 200-300 mm). Je určen pro nanášení kovů a kovových nitridů pro nevratné paměti a pokročilé kontakty. Tento aparát musí také zahrnovat řešení pro čištění, aby se zlepšila kvalita povrchu před nanášením kovů a kovových nitridů. Zákazka zahrnuje také následující povinnou opci s cenovým výpočtem*: - Opce 1 – Výcvik pro údržbu Niveau 1 (Kapitola 9) Zákazka zahrnuje také následující volitelné opce s cenovým výpočtem*: - Opce 2 – Teplotní výměníky (Heat exchangers) a chladicí systémy (chillers) (Sekce 3.2.6) - Opce 3 – Elektrický transformátor (Power supply transformer) (Sekce 4.1.4) - Opce 4 – Pokročilý výcvik pro údržbu (Kapitola 9) - Opce 5 – Preventivní, korektivní údržba a potřebné náhradní díly (Sekce 12.2) - Opce 6 – Rozdloužení záruky o jeden rok - Cena dopravy, včetně pojištění, podle podmínek DAP CEA Grenoble (Dohoda Incoterms ICC 2020)