Finsko – Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel) – Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

Předmětem výběrového řízení je zařízení pro zpracování okrajů sputtering cluster tool (dále také „Zařízení“). Zařízení je sputtering cluster tool pro 200-mm desky, s možností zpracování okrajů desek pro čisté prostory VTT Micronova pro přední část polovodičů. Zákazka zahrnuje depoziční komoru s čtyřmi magnetronovými zdroji sputteringu. Během transportu a zpracování se desky mechanicky dotýkají pouze na okraji a mohou být vakuově otočeny mezi jednotlivými procesy. Předmět výběrového řízení a technické požadavky jsou podrobněji popsány v dokumentaci výzvy k podání nabídky.