Německo – Zkušební a měřící stroje – Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

Předmětem veřejného zakázky je dodání, instalace a uvedení do provozu polautomatického systému pro zkoušku waferů pro elektrické a vysokofrekvenční charakterizaci waferů o průměru 200 mm pro výzkumné a laboratorní účely v IHP. Systém bude zahrnovat, mimo jiné, 200-mm prober waferů s vakuovým chuckem a přesným pozicionováním, jednotlivé sondy, multikontaktní sondy pro RF měření až do minimálně 6 GHz, systém sondových karet, automatizované mikroskopické a kamerové vybavení, stejně jako řídící a softwareové komponenty. Dodávka zahrnuje také dopravu, instalaci, uvedení do provozu, výcvik, dokumentaci, záruku a dodávku náhradních dílů.