Belgie – Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Vysvětlení

Zadávací orgán se chystá zakoupit vysokokvalitní systém pro nanášení tenkých vrstev pro pokročilý výzkum materiálů v rámci projektu THERMAGINE financovaného ERC. Systém bude použit pro nanášení a inženýrství magnetických kovových a oxidických tenkých vrstev a vrstvených struktur s nanometrovou kontrolou tloušťky. Zařízení bude především využíváno pro výrobu magnetických (vrstvených) tenkých vrstev a klínů pro nanomagnetický výzkum. Systém musí tedy poskytovat vysoký stupeň flexibility, reprodukovatelnosti, stability procesu a automatizace. Pro technické detaily viz část III Lot 2 Vysvětlení

Pro usnadnění průzkumného výzkumu v čistém prostoru UGent je potřeba nový systém fyzikálního parového nanášení (PVD), který bude schopný zpracovávat substráty o velikosti alespoň 100 mm. Systém PVD bude sdílen mezi skupinou výzkumu fotoniky (PRG) a skupinou výzkumu tekutých krystalů a fotoniky (LCP) pro nanášení širokého spektra (většinou) kovových nebo dielektrických tenkých vrstev. Do úkolu je zahrnuto spuštění a instalace nástroje, stejně jako komora pro rychlejší nabíjení vzorků a školení poskytnuté dodavatelem zařízení. Systém nanášení tenkých vrstev PVD o velikosti 100 mm, s oběma zdroji e-gun výparu a sputteringu a komorou pro rychlejší nabíjení vzorků. Lot 3 Vysvětlení

Spotřební materiály pro první rok Lotu 2. Lot 3 se týká jednorázového nákupu spotřebních materiálů, které jsou specificky vyžadovány pro systém PVD popsaný v Lotu 2 a pro použití v čistém prostoru UGent během prvního roku provozu. Vynález musí zahrnovat alespoň zlato pro sputterovací cíle, titan pro sputterovací cíle, zlato pro e-gun výpar a titan pro e-gun výpar. Další spotřební materiály, které se používají v menších množstvích, jako je hliník, nikl, platin, hliníkový oxid, chrom a podobné materiály, mohou být nabízeny jako volitelné další položky, ale nejsou povinné.