Francie – Mikroelektronické stroje – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Pro své výzkumné aktivity, které mají za cíl vyvinout technologie FDSOI 10nm a dále, chce CEA-Leti pro svou čistou místnost nakoupit zařízení určené k nízkoteplotnímu metalizaci kontaktů, pro paměťové aplikace. Zařízení bude schopno používat wafery o velikosti 300 mm a je určen pro nanesení tenkého filmu wolframu s vysokou konformitou do kontaktů s vysokým poměrem délky a šířky. Plánovaný kontrakt zahrnuje jednu povinnou a čtyři volitelné volby s odhadem nákladů: - Povinná volba s odhadem nákladů: . Volba 3 (volitelná služba): Výcvik v údržbě úrovně 1 - Volby s volitelným odhadem nákladů: . Volba 1 (volitelná dodávka): Teploměny / chladiče . Volba 2 (volitelná dodávka): Transformátor pro elektrické napájení . Volba 4 (volitelná služba): Výcvik v pokročilé údržbě . Volba 5 (volitelná služba): Rozdloužení záruky o jeden rok