Německo – Ostatní účelové stroje – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Předmětem zakázky je modernizace existujícího 200 mm wolframového systému chemické páry (CVD) od výrobce Applied Materials Inc. (AMAT) na konfiguraci WxZ Sprint. K tomu je zejména nutné provést úpravy na systému distribuce plynu pro realizaci pulzního procesu wolframového nanášení, stejně jako integrace dalšího hardwaru pro umožnění nanášecích tlaků až 300 Torr. Výkony zahrnují plánování, dodání, integrace, uvedení do provozu a kvalifikaci nutných úprav hardwaru a softwaru na existujícím systému zařízení.