Sverige – Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lund Universitet, Institut for Fysik, Lund Nano Lab indkøber et Elektronstrålelitografisk Udstyr. Instrumentet er beregnet til højopløsende, gentageligt mønstering, udstyret med et stort skrivefelt til høj gennemstrømningsmønstering, og automatiserede selvkalibreringsruter til at støtte lange eksponeringer med minimale fejl på grund af stråledrift. Endelig skal dets fleksible prøveindlæsningssystem konfigureres til en bred vifte af prøver fra små stykker, der bruges til grundlæggende videnskab, eller værker op til 8" i diameter til pilotproduktionsprøver. Med disse egenskaber vil Elektronstrålelitografisk Udstyr blive en central del af Lund Nano Labs fabrikationsinfrastruktur og støtte en række anvendelser såsom kvantenheder, højeffektivelektronik, metasurface og mere. Udover instrumentet skal udbuddet omfatte alle tilknyttede omkostninger såsom garanti, emballage, forsikring, on-site installation, kommissionering, FAT, SAT, told og transport, træning, dokumentation, support, udvikling/softwareopdateringer, gebyrer under Forordningen om producentansvar for emballage (2022:1274) osv.