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Deutschland – Rasterelektronenmikroskope – Elektronenstrahllithografie

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-NürnbergTysklandPubliceret den 21. okt. 2026
32 dage tilbage

Beskrivelse

Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).

CPV-koder

Scanning electron microscopesMicroelectronic machinery and apparatus

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