Frankrig – Elektroniske, elektromekaniske og elektrotekniske artikler – Fourniture d’un équipement de métrologie optique 100/150/200mm

I ramme af dets forsknings- og udviklingspartnerskabsaktiviteter ønsker CEA LETI at indkøbe et optisk inspektionssystem, der er dedikeret til ikke-strukturerede wafer, der er i stand til at inspektere wafer på 100 mm, 150 mm og 200 mm (kaldet « bridge tool »), for at erstatte de tidligere systemer, der er blevet brugt indtil nu. Det udvalgte værktøj skal være i stand til at inspektere tynde og tykke substrater. Dette system vil blive brugt til kvalifikation af processer i renrum på forskellige stadier i processen (så længe substraterne ikke er strukturerede); det skal kunne behandle eksotiske substrater og være i stand til at inspektere og, på brugernes anmodning, at indsamle billeder af fejl (mikroskopbilleder). Den planlagte kontrakt omfatter: - Et basisudstyr; - Den påbudte opsummeringsmulighed følgende: o OPT1: Udvidelse af en ekstra års garanti - Såvel som de følgende valgmuligheder med opsummering på frivilligt: o OPT2: Varmetransformatorer / kølere o OPT3: Transformator o OPT4: Vedligeholdelsesuddannelse 1. niveau o OPT5: Avanceret vedligeholdelsesuddannelse o Prisen for transport, forsikret, efter DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020) betingelser