Nederlandene – Mikroelektroniske maskiner, apparater og mikrosystemer – Metrology SEM+FIB system

Hovedformålet med denne FIB/SEM-udstyr er at udføre materialefræsning (skæring), 3D-karakterisering og tværsnitanalyser af epitaksisk vækst af InP, InGaAs, InAlGaAs og InGaAsP lag på InP substrater. Strukturene kan også indeholde polymerbaserede planariseringslag, SiOx eller SiNx dielektriske lag og TiPtAu eller NiGeAu metaliske lag. Levering af ét SEM + FIB system.