Frankrig – Mikroelektroniske maskiner og apparater – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

For dets aktiviteter inden for forskning, der retter sig mod udviklingen af FD-SOI 10 nm-teknologier og derover, ønsker CEA-LETI at erhverve en 300mm mekanisk-kemisk poleringsmaskine. Udstyret skal kunne polere metalliske film som kobber eller wolfram samt barrierematerialer som tantal eller titan. Udstyret skal også være i stand til at polere transparente plader. Det skal være udstyret med 4 bord og 2 rengøringsenheder for at kunne behandle 2 processer parallelt. Det skal være udstyret med poleringshoveder og end-point-systemer af seneste generation, der tillader automatisk justering af poleringsprofilen. Værktøjet skal efterfølgende integrere et in-situ-metrologimodul. Den nuværende kontrakt indeholder den følgende obligatoriske option: - Option nr. 1: Forlængelse af garantien med et ekstra år. Den nuværende kontrakt indeholder de følgende valgfrie optioner: - Option nr. 2: Levering af en restsensor (§3.1 i specifikationerne), - Option nr. 3: Levering af en varmeveksler/afkøler (§3.2.6 i specifikationerne), - Option nr. 4: Levering af en elektrisk transformator (§4.1.3 i specifikationerne), - Option nr. 5: Vedligeholdelsesuddannelse 1. niveau (§9 i specifikationerne), - Option nr. 6: Avanceret vedligeholdelsesuddannelse (§9 i specifikationerne), - Option nr. 7: Prisen for transport, forsikring inkluderet, efter DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020).