Tyskland – Diverse maskiner til generelle og specielle formål – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Modulært, fuldt automatiseret prøvesystem til optisk inspektion og elektrisk kontakt af elektroniske, fotoniske og mikro-mekaniske enheder — inklusiv avancerede fremstillingsmetoder såsom quasi-monolitisk integration. Systemet håndterer 200 mm wafers samt rammer, bånd, skåle og lignende substrater. Et end-to-end bærerhåndteringssystem lader bærere med monterede substrater fra specialiserede kasser, placerer dem på prøvesystemets vakuumklemme og udfører fuldt automatiseret justering. Der er et testkort/prøvekort-grænseflade til elektrisk forbindelse. Prøveopdetection og finjustering udføres automatisk for at sikre reproducerbare kontaktbetingelser. Kontrolsoftwaret understøtter programmerbar sekvenskontrol og referencepunktbaseret justering. Til optisk inspektion tilbyder systemet en bevægelig mekanisk grænseflade til at modtage modulære, kundeforsynede optiske inspektionsmoduler (f.eks. mikroskop med kamera) med lateral og vertikal justering. Det tilgængelige rum over p