Frankrig – Mikroelektroniske maskiner og apparater – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

Til sine forskningsaktiviteter og udvikling af sine partnerskaber ønsker CEA LETI at erhverve et optisk inspektionssystem, der er dedikeret til ustrukturerede wafers, og som er i stand til at inspicere diameter på 100 mm, 150 mm og 200 mm med en avanceret følsomhed. Det valgte system skal være i stand til at inspicere substrater af forskellige materialer og tykkelser.

Kontrakten omfatter en option med obligatorisk prisfastlæggelse:

- Option nr. 1: Et ekstra år med garanti, hvilket gør den totale garanti til to år.

Kontrakten omfatter desuden optioner med valgfri prisfastlæggelse:

- Option nr. 2: Levering af en elektrisk transformator (artikel 4.1.4 i specifikationerne)

- Option nr. 3: Uddannelse i første-niveau vedligeholdelse af inspektionssystemet

- Option nr. 4: Uddannelse i avanceret vedligeholdelse af inspektionssystemet