Tyskland – Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller) – EUV-Targets

Med den til at anskaffe EUV-kilde, inklusive instrumentering til karakterisering af emissionen, skal videnskabelige aspekter undersøges. Dette omfatter især undersøgelser af emissionsafhængighederne af parametrene for den indstrålede laserenergi. Desuden skal denne opsætning undersøges som en alternativ til allerede ved HI Jena udviklede kohærente EUV-kilder med hensyn til deres anvendelse til billedegivende procedurer.