Frankrig – Mikroelektroniske maskiner og apparater – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

I ramme af dets forskningsaktiviteter, der har til formål at udvikle SOI-teknologier med fuld udtømmelse på 10 nm og derover, ønsker CEA-LETI at indkøbe en fuldt automatisk udstyr til atomlagsafsætning (ALD). Denne udstyr skal hovedsageligt behandle wafer på 300 mm (eller 200 mm med hjælp af 200-300 mm-holdere). Den er beregnet til afsætning af metaller samt metallinitrider til ikke-fluktige hukommelser og avancerede kontakter. Udstyret skal også omfatte en renseløsning for at forbedre overfladekvaliteten før afsætning af metaller og metallinitrider. Kontrakten omfatter desuden følgende obligatoriske prisfastsættelsesmulighed* : - Mulighed 1 – Vedligeholdelsesuddannelse Niveau 1 (Kapitel 9) Kontrakten omfatter desuden følgende valgfrie prisfastsættelsesmuligheder* : - Mulighed 2 – Varmevekslere (Heat exchangers) og kølesystemer (chillers) (Afsnit 3.2.6) - Mulighed 3 – Elektrisk transformator (Power supply transformer) (Afsnit 4.1.4) - Mulighed 4 – Avanceret vedligeholdelsesuddannelse (Kapitel 9) - Mulighed 5 – Preventiv, korrektiv vedligeholdelse og nødvendige reservedele (Afsnit 12.2) - Mulighed 6 – Garantiforlængelse med et år - Transportprisen, forsikring inkluderet, efter DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020)