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Tyskland – Diverse specialmaskiner – FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikTysklandPubliceret den 13. sep. 2026
Ingen frist angivetBeskrivelse
For at gennemføre aktuelle forsknings- og udviklingsarbejder er der behov for en ALE-tørætseanlæg til bearbejdning af III-V-halvledere. Anlægget skal muliggøre højpræcise ætsningsprocesser på nanometer-niveau.
CPV-koder
Miscellaneous special-purpose machinery
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