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Németország – Különféle különleges célú gépek – FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikTysklandPubliceret den 13. sep. 2026
Ingen frist angivet
TysklandBeskrivelse
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
CPV-koder
Miscellaneous special-purpose machinery
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