Tyskland – Maskiner og apparatur til prøvning og måling – Semi-Automatic Wafer Prober System for Characterization of 200-mm Wafers

Emkøbet omhandler levering, installation og indføring af et halvautomatisk wafer-prober system til elektrisk og højfrekvenskarakterisering af 200-mm wafers til forsknings- og laboratoriebrug ved IHP. Systemet skal omfatte, blandt andet, en 200-mm wafer prober med vakuumklæb og præcis positionering, individuelle prøver, multikontaktprøver til RF-målinger op til mindst 6 GHz, et probe card system, automatiseret mikroskopi- og kameraudstyr, samt kontrol- og softwarekomponenter. Leveringen omfatter også transport, installation, indføring, træning, dokumentation, garanti og levering af reservedele.