Belgien – Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Forklaring

Opkaldsmyndigheden har til hensigt at indkøbe et højkvalitets tyndfilmsafsætningssystem til avanceret materialeforskning inden for rammerne af det ERC-finansierede projekt THERMAGINE. Systemet vil blive brugt til afsætnings- og ingeniørarbejde med magnetiske metalliske og oxidtynde film og flerbagslag med nanometerskala tykkelseskontrol. Udstyret vil primært blive brugt til fremstilling af magnetiske (flerbagslag) tynde film og kile for nanomagnetisk forskning. Systemet skal derfor give en høj grad af fleksibilitet, reproducerbarhed, processtabilitet og automatisering. For tekniske detaljer, se del III.

Lot 2 Forklaring

For at understøtte udforskende forskning i UGent renrum, kræves et nyt fysisk dampafsætningssystem (PVD), der kan håndtere substrater på mindst 100 mm størrelse. PVD-systemet vil blive delt mellem fotonisk forskningsgruppe (PRG) og væskekristaller og fotoniske (LCP) forskningsgrupper til afsætnings af et bredt udvalg af (hovedsageligt) metal eller dielektriske tynde film. I opgaven er inkluderet start og installation af værktøjet, samt et load-lock til hurtigere indlæsning af prøver og træning af udstyrsleverandøren. Et 100 mm PVD tyndfilmsafsætningssystem med både e-gun fordamper og sputters kilder og et load-lock.

Lot 3 Forklaring

Førsteårsforbrugerartikler for Lot 2. Lot 3 omfatter en engangsindkøb af de forbrugerartikler, der specifikt kræves for PVD-systemet beskrevet under Lot 2 og til brug i UGent renrum under det første år af drift. Lagerlisten skal indeholde mindst guld til sputterskiver, titan til sputterskiver, guld til e-gun fordamper og titan til e-gun fordamper. Andre forbrugerartikler, der bruges i mindre mængder, såsom aluminium, nikkel, platinum, aluminiumoxid, krom og lignende materialer, kan tilbuds som valgfrie ekstraartikler, men er ikke obligatoriske.