Tyskland – Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum har til hensigt at indkøbe en DRIE-ætseanlæg, der skal bruges i forskningslaboratoriet Mikroelektronik Bochum til wafersubstrater med op til 200 mm diameter. Den skal anvendes inden for området for siliciumbaserede mikroelektromekaniske systemer (MEMS) til dybt anisotrop siliciumætning baseret på en cyklisk ætproces (DRIE, "BOSCH-proces") og desuden tjene til udforskning af nye ætkoncepter, der anvender mindre klimaskadelige ætgasser.