Frankrig – Mikroelektroniske maskiner og apparater – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Til sine forskningsaktiviteter, der har til formål at udvikle FDSOI 10nm-teknologier og derover, ønsker CEA-Leti at indkøbe en udstyr til metallisk fyldning af vias ved lav temperatur, til hukommelsesanvendelser, til dets rene rum. Udstyret skal være i stand til at bruge wafers på 300 mm og er beregnet til afsættelse af tyndfilm af wolfram med høj konformitet i vias med et højt formfaktor. Den planlagte kontrakt omfatter en obligatorisk prisoplysning og fire valgmuligheder med valgfri prisoplysning:

Obligatorisk prisoplysning: Option 3 (valgfri ydelse): Vedligeholdelsesuddannelse niveau 1

Valgmuligheder med valgfri prisoplysning:

Option 1 (valgfri levering): Varmetransformatorer / kølere

Option 2 (valgfri levering): Elforsyningstransformator

Option 4 (valgfri ydelse): Udvidet vedligeholdelsesuddannelse

Option 5 (valgfri ydelse): Garantiforlængelse på et år