Tyskland – Måleudstyr – Positionierungssystem für experimentelle Mikromagnetisierungsprozesse

Med magnetisk skriverhoveds mikrometerpræcise positionering skal permanentmagnetiske tyndfilmslag kunne magnetiseres målrettet. Formålet med positioneringssystemet er at teste et magnetiseringskoncept. Mikrometerpræcis relativ positionering af et magnetisk skriverhoved på de substrater, der skal magnetiseres, skal ske i et samlet system gennem en XYR-stage (lateral translation samt rotation af substratet) samt Z-akse (vertikal translation) (se Systemübersicht.pdf). Den sidste er monteret oven over substratet på en specifik traverse, der kan optage magnetiseringshovedene. Den tjener til vertikal tilnærmelse i submikrometerområdet samt til defineret kontaktoprettelse mellem skriverhovedet og substratet for at udføre magnetiseringer. Begge subsystemer – XYR-stage og Z-akse – skal være så indstillet på hinanden, at de kan opnå den specifikke positioneringspræcision i det samlede system og muliggøre trajektoriestykker. Udover en udstyret Z-akse skal der på den specifikke traverse være planlagt og leveret optagelser til to yderligere, identiske skriverhovede til en eventuel efterudrustning. De konstruerede, mekaniske optagelser skal være udformet således, at hvert skriverhoved kan nå enhver position på en 150 mm wafer. Alle rammer og krav til subsystemerne er nærmere specifikeret nedenfor og delvist at hente fra vedhæftede dokumenter.