Frankrig – Mikroelektroniske maskiner og apparater – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

For sine forskningsaktiviteter ønsker CEA-LETI at erhverve en udstyr, en halvautomatisk kemisk arbejdsplads til gravéring og rengøring af III-V materialer på siliciumplader, fosforindium (InP) eller galliumarsenid (GaAs) med diameterer 100, 150, 200 og 300 mm til mikroelektronik. Denne arbejdsplads erstatter en allerede eksisterende arbejdsplads i LETI's rene rum. Derfor skal det tilbudte udstyr overholde følgende dimensioner:

o Længde = 2500 mm

o Dybde = 1700 mm

o Højde = 2100 mm

Kontrakten omfatter også følgende valgmuligheder med valgfri prisfastlægning*:

o Valgmulighed 1: Temperaturvekslere og kølere (§3.2.6);

o Valgmulighed 2: Strømtransformatorer (§4.1.4);

o Valgmulighed 3: Vedligeholdelsesuddannelse 1. niveau (§9);

o Valgmulighed 4: Avanceret vedligeholdelsesuddannelse (§9);

o Valgmulighed 5: Forlængelse af garantien med et ekstra år (§11.1);

o Valgmulighed 6: Tilgængeliggørelse af et tørkontakt, der angiver åbningen af H2SO4 eller H2SO5-udløbsventilen (§4.2.3);

o Prisen for transport, forsikring inkluderet, efter DAP CEA Grenoble betingelser (Incoterms ICC 2020).