Tyskland – Diverse specialmaskiner – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Genstanden for indkøbet er et upgrade af et eksisterende 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-system fra Applied Materials Inc. (AMAT) til en WxZ Sprint-konfiguration. Dette omfatter især tilpasninger af gasfordelingssystemet for at realisere en pulseret Wolfram-afsætningsproces, samt integration af yderligere hardware for at muliggøre afsætningstryk op til 300 Torr. Ydelserne omfatter planlægning, levering, integration, indsætning og kvalifikation af de nødvendige hardware- og softwaretilpasninger på det eksisterende anlægsystem.