Danmark – Industrimaskiner – Delivery and installation of a High ion density etcher for lithium niobate on insulator - LiNb03 (LN)

DTU Nanolab ønsker at erhverve en høj iontætheds kilde reaktiv ionætser til ætsning af lithiumniobat på isolator 150 mm værktøjsbehandling. Levering forventes ikke senere end Q4 2027. Vi leder efter et meget fleksibelt instrument, der leverer stabile ætsningsopskrifter, som kan ætse på både nanometerskala og mikrometerskala med præcis kontrol over ætsningsdybden, typisk nogle hundrede nm. Instrumentet skal have topmoderne ydelse i forhold til profilkontrol, ensformighed, selektivitet og især glathed af ætsningsvægge for at opnå lav ledningstabsforlust. Instrumentet vil blive installeret i DTU Nanolabs renrum - en universitetsfaciliteter, der tilbyder et omfattende udvalg af mikro- og nanofabrikationsværktøjer. Det betjener et bredt samfund på over 200 aktive brugere, der strækker sig fra nybegyndere studerende til erfarne forskere, samt en høj procentdel af kommercielle kunder. På DTU Nanolab arbejder der flere forskningsgrupper og virksomheder med udvikling og drift af småskala produktion af optiske enheder på værktøjerne. Derfor er evnen til at ætse glatte optiske ledninger, gitter og andre lav-rugositet optiske enheder af høj vigtighed for os.