Schweiz – Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller) – Un système de pulvérisation cathodique dédié à la déposition de couches minces supraconductrices de haute qualité

EPFL planlægger i tæt samarbejde med Université de Genève (UNIGE) at anskaffe en højteknologisk Sputter-aflejringsanlæg, der er specielt udformet til fremstilling af højkvalitets supraledende tyndfilme. Anlægget vil blive installeret og drevet på EPFL Center of MicroNanotechnology (EPFL CMi). CMi er en centraliseret enhed for mikro- og nanofabrikation, der tjener alle fakulteter på EPFL og er åben for både eksterne universiteter og lokale industripartnere (over 600 aktive brugere om året). Den nye anlæg vil blive anvendt til topforskning inden for enkeltfotondetektorer, med det mål at overbringe gapet mellem laboratoriefremstilling og industriproduktion ved at muliggøre aflejring på wafer med en diameter på 200 mm. Særskilt fokus lægges ikke kun på kvaliteten af aflejringerne og de supraledende egenskaber af tyndfilmene, men også på brugervenligheden af anlægget, dets enkelte og hurtige indlæring for nye brugere samt dets fleksible, men stadig robuste evne til proceskontrol i et F&E-miljø. Ligeså lægges stor vægt på leverandørens nærhed og reaktionsevne i forbindelse med den tekniske support og processtøtte. I overensstemmelse med EPFL's krav samt de videnskabelige mål for CMi og UNIGE, lægges særlig vægt på følgende punkter: ● Kvalitet, reproducerbarhed og ensartethed af supraledende tyndfilme. ● Integration med vores infrastrukturer.