Κάτω Χώρες – Μικροηλεκτρονικά μηχανήματα και συσκευές, καθώς και μικροσυστήματα – Metrology SEM+FIB system

Το κύριο σκοπός αυτού του εξοπλισμού FIB/SEM είναι να πραγματοποιήσει το μηχανικό χάραξη (τομή), 3D χαρακτηρισμό και ανάλυση διατομής των επιτακτικά αναπτυσσόμενων στρωμάτων InP, InGaAs, InAlGaAs και InGaAsP πάνω σε υποστρώματα InP. Οι δομές μπορεί επίσης να περιέχουν στρώματα πλαναροποίησης με βάση το πολυμερές, SiOx ή SiNx διηλεκτρικά στρώματα και TiPtAu ή NiGeAu μέταλλα στρώματα. Levering van één SEM +FIB systeem