Γαλλία – Μικροηλεκτρονικές συσκευές και μηχανήμτα – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Για τις δραστηριότητες έρευνας του για την ανάπτυξη των τεχνολογιών FD-SOI 10 nm και πέρα, το CEA-LETI επιθυμεί να αποκτήσει εξοπλισμό 300mm μηχανοχημικού λάπισματος. Ο εξοπλισμός πρέπει να μπορεί να λάπιζε μεταλλικά στρώματα όπως ο χαλκός ή το βολφράμιο, καθώς και υλικά μπαράζ όπως το ταντάλιο ή το τιτάνιο. Ο εξοπλισμός πρέπει επίσης να μπορεί να λάπιζε διαφανείς πλάκες. Θα πρέπει να είναι εξοπλισμένος με 4 πλάκες και 2 καθαριστές για να μπορεί να επεξεργαστεί 2 διαδικασίες παράλληλα. Θα πρέπει να είναι εξοπλισμένος με κεφαλές λάπισματος και συστήματα τερματισμού τελευταίας γενιάς που επιτρέπουν την αυτόματη ρύθμιση του προφίλ λάπισματος. Ο εξοπλισμός θα πρέπει να ενσωματώσει αργότερα ένα μετρικό μοντέλο in-situ. Η παρουσία αγορά περιλαμβάνει την υποχρεωτική επιλογή: - Επιλογή n°1: Παράταση της εγγύησης για ένα επιπλέον έτος. Η παρουσία αγορά περιλαμβάνει τις ακόλουθες επιλογές: - Επιλογή n°2: Παροχή αισθητήρα αποβλήτων (§3.1 του τεχνικού προγράμματος), - Επιλογή n°3: Παροχή ανταλλακτικού θερμαντικού/ψυγείου (§3.2.6 του τεχνικού προγράμματος), - Επιλογή n°4: Παροχή ηλεκτρικού μετασχηματιστή (§4.1.3 του τεχνικού προγράμματος), - Επιλογή n°5: Εκπαίδευση συντήρησης 1ου επιπέδου (§9 του τεχνικού προγράμματος), - Επιλογή n°6: Εκπαίδευση προχωρημένης συντήρησης (§9 του τεχνικού προγράμματος), - Επιλογή n°7: Η τιμή μεταφοράς, με ασφάλιση, σύμφωνα με τις συνθήκες DAP CEA Grenoble (Σύμβαση Incoterms ICC 2020).