Γαλλία – Ηλεκτρονικό, ηλεκτρομηχανολογικό και ηλεκτροτεχνικό υλικό – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

Για τις δραστηριότητες έρευνας του για την ανάπτυξη των τεχνολογιών FD-SOI 10 nm και πέρα, το CEA-LETI θέλει να αγοράσει εξοπλισμό 300 mm για την κατακόρυφη αποθέτηση μετάλλου με PVD. Ο εξοπλισμός θα είναι πολυκαμερών και θα πρέπει να περιλαμβάνει τουλάχιστον 5 κατακόρυφες κάμερες αποθήκευσης, μια πλατφόρμα μεταφοράς υπό κενό, μια κάμερα αφαίρεσης οξειδώσεων, μια κάμερα προκαθαρισμού και ένα μονάδα απογάζωσης. Η θύρα φόρτωσης θα πρέπει να επιτρέπει την υποδοχή τουλάχιστον 3 FOUPs. Ο προτεινόμενος αγορασμένος θα περιλαμβάνει τις ακόλουθες επιλογές: - Υποχρεωτική επιλογή: OPT1: Εκτέταση εγγύησης 1 έτος επιπλέον (§11.1 του τεχνικού προγράμματος) - Προαιρετικές επιλογές: OPT2: Αντιμετατροπείς θερμότητας/Ψυκτές (§3.2.6 του τεχνικού προγράμματος) OPT3: Μετατροπέας ηλεκτρικής τροφοδοσίας (§4.1.4 του τεχνικού προγράμματος) OPT4: Εκπαίδευση συντήρησης 1ου επιπέδου (§9 του τεχνικού προγράμματος) OPT5: Εκπαίδευση συντήρησης προχωρημένου επιπέδου (§9 του τεχνικού προγράμματος)