Γερμανία – Εξοπλισμός εργαστηριακός, οπτικός και ακριβείας (εκτός από γυαλιά) – EUV-Targets

Με την προμηθεία της πηγής EUV, συμπεριλαμβανομένου του εξοπλισμού για τη χαρακτηρισμό των εκπομπών, θα εξεταστούν επιστημονικά θέματα. Συγκεκριμένα, θα πραγματοποιηθούν μελέτες για τις εξαρτήσεις των εκπομπών από τους παραμέτρους της εισερχόμενης ισχύος του λέιζερ. Επιπλέον, αυτή η διάταξη θα εξεταστεί ως εναλλακτική λύση σε τις ήδη αναπτυγμένες κοχερέντες πηγές EUV στο HI Jena, όσον αφορά την εφαρμογή τους σε διαδικασίες εικόνισης.