Γαλλία – Μικροηλεκτρονικές συσκευές και μηχανήμτα – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

Στο πλαίσιο των δραστηριοτήτων έρευνας του για την ανάπτυξη τεχνολογιών SOI με πλήρη εξάντληση 10 nm και πέρα, το CEA-LETI επιθυμεί να αποκτήσει ένα πλήρως αυτόματο εξοπλισμό καταθέσεως με ατομική στρώσης (ALD). Αυτός ο εξοπλισμός θα πρέπει κυρίως να επεξεργάζεται πλακέτες 300 mm (ή 200 mm με τη χρήση υποστηρικτών 200-300 mm). Προορίζεται για την καταθέση μεταλλικών υλικών καθώς και μεταλλικών νιτριδίων για μη εύκολα διαγράφιμες μνήμες και προχωρημένες επαφές. Αυτός ο εξοπλισμός θα πρέπει επίσης να περιλαμβάνει μια λύση καθαρισμού για την βελτίωση της ποιότητας της επιφάνειας πριν από την καταθέση μεταλλικών υλικών και μεταλλικών νιτριδίων. Η αγορά περιλαμβάνει επίσης την ακόλουθη υποχρεωτική επιλογή με τιμολόγηση* : - Επιλογή 1 – Εκπαίδευση συντήρησης Επιπέδου 1 (Κεφάλαιο 9) Η αγορά περιλαμβάνει επίσης τις ακόλουθες επιλογές με προαιρετική τιμολόγηση* : - Επιλογή 2 – Αντιαλλαγείς θερμότητας (Heat exchangers) και συστήματα ψύξης (chillers) (Ενότητα 3.2.6) - Επιλογή 3 – Ηλεκτρικός μετασχηματιστής (Power supply transformer) (Ενότητα 4.1.4) - Επιλογή 4 – Εκπαίδευση προχωρημένης συντήρησης (Κεφάλαιο 9) - Επιλογή 5 – Υπηρεσίες προληπτικής, διορθωτικής συντήρησης και απαραίτητα ανταλλακτικά (Ενότητα 12.2) - Επιλογή 6 – Παράταση εγγύησης ενός επιπλέον έτους - Η τιμή μεταφοράς, συμπεριλαμβανομένης της ασφάλισης, σύμφωνα με τις συνθήκες DAP CEA Grenoble (Σύμβαση Incoterms ICC 2020)