Ισπανία – Ηλεκτρονικά ολοκληρωμένα κυκλώματα και μικροσύνολα – Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

Η διαδικασία αγοράς που αντικειται στο παρόν έγγραφο είναι απαραίτητη για τη διεξαγωγή της έρευνας και ανάπτυξης για την Pilot Line του UPV, με στόχο την βελτίωση των υπάρχοντων προχωρημένων γραμμών πειραμάτων και την ανάπτυξη νέων σε όλη την Ένωση, για να επιτρέψει την ανάπτυξη και την εφαρμογή τεχνολογιών ημισυγωγών πρωτοποριακών και τεχνολογιών ημισυγωγών επόμενης γενιάς. Σκοπός είναι η απόκτηση, μεταξύ άλλων, των εξής εξοπλισμών: 4 • UPV04 - Electron beam lithography tool up to 8-inch wafers: Εξοπλισμός λιθογραφίας με ηλεκτρονικό σωλήνα που εκθέτει μοτίβα σε ευαίσθητες αμυντικές με τη χρήση ενός συγκεντρωμένου και σαρωμένου ηλεκτρονικού σωλήνα. Γράφει χαρακτηριστικά με νανομετρική ανάλυση σύμφωνα με το σχέδιο σε ψηφιακό αρχείο. Προορίζεται για τη δημιουργία νανοφτιαξίας, ειδικά για μάσκες και δομές σε φωτονική, ημισυγωγούς και νανοτεχνολογία. • UPV13 – SEM: Εξοπλισμός εξέτασης επιφανειών με τη χρήση ενός συγκεντρωμένου ηλεκτρονικού σωλήνα που παρέχει εικόνες με νανομετρική ανάλυση. Επιτρέπει την αποκτηση μορφολογικών πληροφοριών και εικόνας επιφανειακού αντίθεσης, καθώς και αντίθεσης που σχετίζεται με διαφορές σύνθεσης ή ατομικού αριθμού, ανάλογα με τους ανιχνευτές και τους τρόπους εικόνας που είναι διαθέσιμοι. Προορίζεται για μετρολογία, έλεγχο και έγκριση διαδικασίας και έλεγχο ποιότητας. Η κατάλληλη εξοπλισμός βασίζεται στην ικανότητά του να καλύπτει συλλογικά τα απαιτούμενα κριτήρια για τη δημιουργία και την μετρολογία που είναι απαραίτητα για την παραγωγή σε γραμμή πειραμάτων φωτονοϊκών κυκλωμάτων ενσωματωμένων υβριδικών. Αυτή η ικανότητα επιτρέπει την συντεταγμένη ορισμό των παραμέτρων έκθεσης και των σημείων ενδιαφέροντος για μετρολογία, την ενσωμάτωση της εξωτερικής έλεγχου SEM μετά την διαδικασία και την εγγύηση της παρακολούθησης και της συμφωνίας των δεδομένων που παράγονται κατά τη διάρκεια του ροής παραγωγής.