Φινλανδία – Εξοπλισμός εργαστηριακός, οπτικός και ακριβείας (εκτός από γυαλιά) – Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

Το αντικείμενο της διαδικασίας προσφοράς είναι ένα συσκευή επεξεργασίας κλωνοποίησης σπαρτέρ (από τότε και «Εξοπλισμός»). Ο Εξοπλισμός είναι μια συσκευή επεξεργασίας κλωνοποίησης σπαρτέρ για φάκελους 200 mm με δυνατότητα χειρισμού της άκρης του φακέλου για το καθαριστήριο ημιαγωγών του VTT Micronova. Η αγορά περιλαμβάνει μια κάμερα αποθέματος με τέσσερις πηγές σπαρτέρ μαγνητρον. Κατά τη μεταφορά και την επεξεργασία, τα φάκελοι αφήνονται να αφήνεται μόνο στην άκρη του φακέλου και μπορούν να ανταλλάξουν στο κενό μεταξύ των διαδικασιών. Το αντικείμενο της διαδικασίας προσφοράς και οι τεχνικές απαιτήσεις περιγράφονται πιο αναλυτικά στα έγγραφα προσκαλέσεως προσφοράς.