Σουηδία – Μηχανήματα βιομηχανικών εγκαταστάσεων – Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)

Myfab Uppsala σκοπεύει να αγοράσει ένα βαθύ ιονικό αλατομετρητή (DRIE). Ο σκοπός του εργαλείου είναι να μεταφέρει σχέδια που ορίζονται από φωτο- και ηλεκτρονική σωλήνα λιθογραφία, καλύπτοντας το εύρος μεγέθους των σχεδίων από όλο το εύρος υποστρώματος έως λίγα νανόμετρα. Το σύστημα θα χρησιμοποιείται από πολλούς χειριστές σε περιβάλλον εργαστηρίου πανεπιστημίου. Πρέπει να είναι εύκολο στην χρήση και να είναι ανεκτικό σε συχνές αλλαγές διαδικασίας μεταξύ των λωρίδων. Οι διαδικασίες περιλαμβάνουν ευρύ εύρος δυνατότητας αλατομετρίας: από χαμηλό έως υψηλό ρυθμό αλατομετρίας, διακόπτης πλάκας, υψηλή ομοιογένεια, μεγάλη ανοικτή περιοχή, υψηλό αναλογία άνοιξης και κλίμακα νανόμετρων. Το σύστημα προορίζεται για αλατομετρία του πυριτίου καθώς και άλλων υλικών συμβατά με την αλατομετρία του πυριτίου, με φωτοαπορροφητικές ρεσίνες και σκληρούς μάσκες για τη μορφοποίηση.