Γαλλία – Ηλεκτρομηχανολογικός εξοπλισμός – Equipement de 300mm de gravure sélective Si-SiGe - Dry selective_SiSiGe_etching tool

Το CEA Leti, για τις δραστηριότητες έρευνας του, με στόχο την ανάπτυξη των τεχνολογιών FDSOI 10nm και πέρα (FDSOI10), επιθυμεί να αποκτήσει ένα εξοπλισμό χαρακτικής FEOL/MEOL για το καθαρό του χώρο. Ο εξοπλισμός θα είναι σε θέση να επεξεργαστεί φάκελους 300mm και θα επιτρέπει την υψηλά επιλεκτική και ισοτροπική χαρακτική του πυριτίου (Si) και πυριτίου-γερμανίου (SiGe). Περιλαμβάνει τις ακόλουθες υποχρεωτικές επιλογές:

- Επιλογή 1: Προσέγγιση 7 (χαράκτηση του διαχωριστικού SiCO)

- Επιλογή 2: Προσέγγιση 8 (χαράκτηση του διαχωριστικού και SADP)

- Επιλογή 3: Φόρμα συντήρησης επίπεδο 1

Ακόμα και το κόστος των επιλογών με προαιρετικές απαντήσεις:

- Επιλογή 4: Αντιδιαλυτές θερμότητας (Heat exchangers) και συστήματα ψύξης (chillers) (Ενότητα 3.2.6)

- Επιλογή 5: Ηλεκτρικός μετασχηματιστής (Power supply transformer) (Ενότητα 4.1.4)

- Επιλογή 6: Προχωρημένη φόρμα συντήρησης (Κεφάλαιο 9)

- Επιλογή 7: Υπηρεσίες προληπτικής, διορθωτικής συντήρησης και απαραίτητα αντικαταστατικά (Ενότητα 12.2)