Γερμανία – Εξοπλισμός εργαστηριακός, οπτικός και ακριβείας (εκτός από γυαλιά) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Η Ruhr-Universität Bochum προτίθεται να αποκτήσει εγκατάσταση DRIE ατμών, η οποία θα χρησιμοποιηθεί στο ερευνητικό εργαστήριο Mikroelektronik Bochum για υποστρώματα Wafer με διάμετρο έως 200 mm. Θα χρησιμοποιείται στον τομέα των συστημάτων μικροηλεκτρομηχανικών συστημάτων (MEMS) με βάση το πυριτίο για το βαθύ ανισότροπο άτμιο πυριτίου με βάση ένα κυκλικό διαδικασία ατμίων (DRIE, "BOSCH-Διαδικασία") και θα υπηρετεί επίσης την έρευνα νέων ατμίων, που χρησιμοποιούν λιγότερο κλιματοβλαβή ατμικά αέρια.