Γαλλία – Μικροηλεκτρονικές συσκευές και μηχανήμτα – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Για τις δραστηριότητες έρευνας του, οι οποίες στόχευαν στο να αναπτύξουν τις τεχνολογίες FDSOI 10nm και πέρα, το CEA-Leti επιθυμεί να αποκτήσει εξοπλισμό αφιερωμένο στη μεταλλική γεμίσματα των vias σε χαμηλές θερμοκρασίες, για εφαρμογές μνήμης, για το καθαρό του δωμάτιο. Ο εξοπλισμός θα είναι ικανός να χρησιμοποιεί wafers 300mm και είναι προορισμένος για την αποθήκευση ταινίας από τουνγκστένιο υψηλής συμφωνίας σε vias με υψηλό συντελεστή μορφής. Η προτεινόμενη αγορά περιλαμβάνει μια επιλογή με υποχρεωτική τιμολόγηση και τέσσερις επιλογές με προαιρετική τιμολόγηση:

- Επιλογή με υποχρεωτική τιμολόγηση: Επιλογή 3 (προαιρετική υπηρεσία): Εκπαίδευση στην συντήρηση επίπεδο 1

- Επιλογές με προαιρετική τιμολόγηση: Επιλογή 1 (προαιρετική προμήθεια): Αντιστροφείς θερμότητας/ψυγευτές. Επιλογή 2 (προαιρετική προμήθεια): Μετασχηματιστής τροφοδοσίας ηλεκτρικού. Επιλογή 4 (προαιρετική υπηρεσία): Εκπαίδευση στην προχωρημένη συντήρηση. Επιλογή 5 (προαιρετική υπηρεσία): Εκτέταση εγγύησης ενός έτους.