Γαλλία – Ηλεκτρονικό, ηλεκτρομηχανολογικό και ηλεκτροτεχνικό υλικό – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

Για τις δραστηριότητες έρευνας του για την ανάπτυξη τεχνολογιών FD-SOI 10 nm και πέρα, το CEA-LETI θέλει να αποκτήσει ένα εργαλείο μέτρησης λεπτών στρωμάτων συμβατό με wafers 200 mm και 300 mm, χρήσιμο σε καθαρό δωμάτιο τάξης 100. Το εξοπλισμό θα πρέπει να ενσωματώνει λειτουργίες ελλειψομετρίας και σπετροσκοπικής ανακλαστικότητας. Θα πρέπει να εξασφαλίζει ακριβείς και αναπαράγιμες μετρήσεις των πάχους και των οπτικών ιδιοτήτων των απλών ή στρωμένων στρωμάτων. Οι τεχνολογίες που στόχευε περιλαμβάνουν, μεταξύ άλλων, SOI, υλικά high-k, GaN, SiC και III-V, για παράδειγμα. Η αγορά που προβλέπεται περιλαμβάνει: - ένα σταθερό τμήμα που αντιστοιχεί στο βασικό εξοπλισμό, - ένα προαιρετικό τμήμα n°1 σχετικά με την παροχή OCD και το πληροφοριακό περιβάλλον (Module OCD). Η παρουσία αγορά περιλαμβάνει τις ακόλουθες προαιρετικές επιλογές με υποχρεωτική προσαρμογή: o OPT1: Εκπαίδευση στη συντήρηση 1ου επιπέδου o OPT2: Εκπαίδευση στη προχωρημένη συντήρηση o OPT3: Παροχή ενός ηλεκτρικού μετασχηματιστή o OPT4: Παροχή ενός θερμοσυμπιεστή/ψυγευτών o OPT5: Εκτέταση εγγυήσεων διάρκειας ενός έτους o OPT6: Η τιμή μεταφοράς, συμπεριλαμβανομένου ασφάλισης, σύμφωνα με τις συνθήκες DAP CEA Grenoble (Σύμβαση Incoterms ICC 2020).