Rootsi – Laboriseadmed, optika- ja täppisinstrumendid (v.a klaasid) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lundi Ülikooli Füüsika Instituudi Lund Nano Lab osta elektronkiirte graafikaseadme. Seade on mõeldud kõrgsuunatuslikule, korduvale mustrile, mis on varustatud suure kirjutusväljaga kõrge läbilaske mustrile ja automaatse isekalibreerimise rutiinidega, et toetada pikaajaliselt eksponeerimist väikeste veaga kiirte drifti tõttu. Lõpuks peab selle paindlik proovilaadimissüsteem olema konfigureeritud laiale proovide valikule, alates väikestest põhiteaduseks kasutatavatest tükkidest kuni 8" läbimõõduga vaakumistest pilottootmise testimiseks. Nendega omadustega saab elektronkiirte graafikaseade muuta Lund Nano Labi tootmise infrastruktuuri keskseks osaks ja toetada laialdaselt rakendusi, nagu kvantseadmed, kõrgsagedus-elektronika, metapinnad ja muu. Lisaks seadmele peab pakkumine sisaldama kõiki seotud kulusid, nagu garantii, pakendamine, kindlustus, paigaldus, katsetamine, FAT, SAT, tollimaks ja transport, õppimine, dokumentatsioon, toetus, arendamine/arvutiprogrammi uuendused, kulusid seaduse 2022:1274 alusel tootja vastutuse pakendite eest.