Prantsusmaa – Elektroonilised, elektromehaanilised ja elektrotehnilised tarvikud – Fourniture d’un équipement de métrologie optique 100/150/200mm

CEA LETI soovib oma uurimise ja arendustegevuse raames osta optilise inspektsioonisüsteemi, mis on mõeldud mittestruktureeritud plaattidele, võimeline inspekteerima 100 mm, 150 mm ja 200 mm plaatte (nimetatud "sildseade"), et asendada seni kasutatud vanemaid süsteeme. Valitud seade peab olema võimeline inspekteerima õhukesi ja paksusi substraate. See süsteem kasutatakse protsesside kvalifitseerimiseks puhta ruumis erinevatel protsessi etappidel (nii kaua, kuni substrad ei ole struktureeritud); see peab olema võimeline töötlema eksotilisi substrate ja peab olema võimeline inspekteerima ja, kasutaja soovitusel, koguma pildid defektidest (mikroskoobi abil piltide kogumine). Plaanitav leping hõlmab: - Baasvarustus; - Järgmisele pakkumisele kohustuslik valik: o OPT1: Garantiia ühe aasta pikendamine - ning järgmised valikud, millele saab pakkuda: o OPT2: Kuumavahetus / jahutid o OPT3: Transformaator o OPT4: Esmase taseme hoolduskoolitus o OPT5: Täienduskoolitus hoolduseks o Transportimise hind, mis sisaldab kindlustust, tingimustel DAP CEA Grenoble (ICC 2020 Incoterms konventsioon)